Les systèmes micro-électromécaniques

Thèmes abordés

Systèmes micro-électromécaniques, accélérométrie, MEMS, techniques macroscopiques, méthode du tirage du cristal, Czochralski

Résumé du document

La microélectronique, c'est usiné du silicium pour essayer de transposer à des échelles micrométriques des objets à caractère mécanique.

Motivations des gens ?
Comparer aux techniques horlogères (fait par des machines, ouvriers), cette nouvelle méthode permet d'avoir un plus gros rendement.
Permet aussi de réduire les coûts de production, car sur une chaîne de production ouvrière, il faut que les pièces soient toutes pareilles, c'est-à-dire avoir un ouvrier qualifié ou un processus automatisé avec des machines puissantes.
Inconvénient : maîtrise des codes de fabrication

La lithographie : est une technique d'impression à plat qui permet la création et la reproduction à de multiples exemplaires d'un tracé exécuté à l'encre ou au crayon sur.

Extraits

[...] Pour calculer la distance, on utilise la capacité Conclusion : c'est à la fois électronique et mécanique, à la fois une masse et un morceau de capacité. Quand nous nous approchons la capacité augmente. Pour calculer la distance, nous utilisons la capacité Conclusion : c'est à la fois électronique et mécanique, à la fois une masse et un morceau de capacité. Le silicium sert à la fois à fabriquer la partie sensible (masse d'éprouve) et aussi pour le ressort de rappel (poutre). [...]

[...] Problème de lubrification, étape de maintenance Les techniques macroscopiques posent des objets extrêmement puissant mais pose des difficultés de maintenance. Problème très complexe et très couteux. Les techniques macroscopique et leurs verrous : cas du gyroscope Les technologies macroscopiques donnent de hautes performances mais elles sont très coûteuses en maintenance (il faut une salle blanche+requalifier la centrale inertielle+quelqu'un de compétant pour assurer la maintenance . Au niveau industriel les problèmes sont complexes et coûteux (les pièces vieillissent). Les accéléromètres macroscopiques sont toujours vendus par SAGEM et THALES. [...]

[...] Mettre dans un creuset 6. Coupé le silicium de façon à obtenir des plans atomiques 7. Découpage en tranche avec une scie à base de diamant 8. Réalisation du wafer Force : force de rappel du ressort En mesurant une distance, on mesure l'accélération. Règle graduée = m.a k. x = m.a a = k/m. x a m K V = ,0--,.+ . x(to->t1) = ,0-1-,.. Vitesse initiale Ancrage Poutre Lecture différentielle : on augmente avec des signaux en opposition de phase. [...]

[...] (ex : téléphone). -MOEMS : Micro Optique électronique micro system (Micro miroir, pour faire du routage optique) ( Effectue des fonctions optiques -Microélectronique adaptative (ex : microscope : besoin de déformer un miroir optique en temps réel) -Microfludiques (utiliser de la plomberie à l'échelle micrométrique ex : micro-aiguilles). -Micro fuel cells (micropile à combustible). Il y a une problématique énergétique derrière On produit de l'énergie à partir de matière organique. Ex : énergie du téléphone Principe : tuyau avec carburant (éthanol . [...]

[...] On a des problèmes avec les macros technologies mais elles restent très performantes. C'est pourquoi dans un souci de progrès constant, les MEMS se doivent d'être encore meilleurs. Il y a dix ans avec les MEMS, on était déjà capable de faire des mesures par rapport aux airbags, pour stabiliser les voitures (mais performances basses : [...]