Le traitement CVD (Chemical Vapor Deposition)

Résumé du document

Le procédé de dépôt chimique en phase vapeur était déjà utilisé en 1880 pour renforcer les filaments des ampoules avec des revêtements de carbone ou de métal.

Extraits

[...] Décomposition thermique : pyrolyse de la source pour libérer un métal ou un composé. Décomposition thermique suivie de recombinaison des fragments. III. Applications Les principaux domaines d'application du procédé CVD peuvent se classer en deux catégories, suivant que le produit formé donne un revêtement (ou couche) sur un substrat, ou un produit solide indépendamment d'un substrat. L'obtention d'un revêtement épais ou de couches minces permet pricipalement : la protection contre l'usure mécanique. la protection contre la corrosion et l'oxydation à haute température. [...]

[...] Pierson Dépôts physiques par Lech Pawlowski Les Techniques de l'Ingénieur Sites internet consultés au cours du mois de février 2009. [...]

[...] Une voie de recherche active consiste à rechercher des précurseurs qui réagissent à plus basse température. Agressivité toxicité et/ou instabilité à l'air des précurseurs d'où difficulté de manipulation. Même chose pour les produits de réaction qui peuvent attaquer le substrat, provoquant porosité, mauvaise adhérence et contamination du dépôt. ADOLF Luc HOU Xu FI MGP 3A 8 Traitements Physiques et Chimiques Année 2008/2009 Essentiellement un procédé d'équilibre: les phases métastables obtenues par des procédés comme le sputtering ne peuvent généralement pas être reproduit par la CVD La désorption entraîne une porosité. [...]

[...] Le CVD est un process synthétique dans lequel les constituants chimiques réagissent en phase vapeur, sur ou proche, d'un substrat chauffé afin d'y former un dépôt solide. Plusieurs types de réactions chimiques sont utilisés et il existe de nombreuses techniques pour les mettre en œuvre. Une réaction CVD est basé sur les fondamentaux de la thermodynamique, c'est sur cela que nous pourrons prévoir la manière dont la réaction va se dérouler. ADOLF Luc HOU Xu FI MGP 3A 11 Traitements Physiques et Chimiques Année 2008/2009 Bibliographie et webographie Handbook of Chemical Vapor Deposition by Hugh O. [...]

[...] Le procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) permet d'effectuer des dépôts, métalliques ou non, sur des pièces (le substrat). Le procédé de dépôts chimiques en phase vapeur classique, également appelé CVD thermique à cause du mode d'activation thermique des réactions chimiques mises en jeu permet par décomposition de gaz réactifs, l'obtention de revêtements de protection contre l'usure, le frottement, la corrosion et l'oxydation. Les procédés de microfabrication utilisent largement la CVD pour déposer des matériaux sous des formes variées : monocristallins, polycristallins, amorphes, épitaxiés. [...]